Spark Plasma Sintering of HEB-milled Si3N4 under Air, Ar and N2 atmosphere
Si3N4は、電気自動車のボールベアリングやパワーデバイスのヒートシンク用などの素材として、現在実装され、また期待されている材料である。一般には、高価なα型が焼結助剤と共に長時間熱処理され、高靭性で熱伝導性の高い特性を持っている。本研究では、比較的安価なβ型を無定形にし、焼結助剤と共に20分程度の短時間で放電プラズマ焼結するだけで、高靭性のSi3N4焼結体を得ることができたので報告する。